微流控玻璃芯片又称石英 / 玻璃微流控芯片,以硼硅玻璃、熔融石英、钠钙玻璃为基底,通过湿法刻蚀、干法刻蚀、光刻、精密打孔、高温键合等工艺,在玻璃片内部制备微米级流体通道、反应腔、微阀、微电极、分离柱、过滤阵列等微结构,依托玻璃优异光学、电化学、化学稳定性能,实现微量样本(nL~μL 级别)的分离、反应、检测、细胞培养、色谱分析等全流程微型化操作,是实验室高端科研、体外诊断精密分析、色谱质谱联用、单细胞分析的核心芯片载体。
玻璃晶圆微流控芯片是采用标准半导体圆形玻璃晶圆(4/6/8 英寸硼硅玻璃、熔融石英晶圆)作为基底,依托半导体 MEMS 全流程微纳加工(光刻、刻蚀、TGV 玻璃通孔、晶圆级键合、晶圆表面改性),在整片晶圆上一次性阵列化制备数十至数百套独立微流控单元,最后划片切割成单颗成品芯片的高端微流控平台,属于晶圆级量产玻璃微流控,区别于单块小尺寸玻璃片手工加工的传统玻璃芯片。